
Instructor Introduction
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노준석 교수
2013 University of California, Berkeley 기계공학/나노공학 박사
2013 Lawrence Berkeley National Laboratory 박사 후 연구원
2013-2014 Argonne National Laboratory Ugo Fano Fellow
2014-2018 포항공과대학교 기계공학과/화학공학과 조교수
2015-현재 포항공과대학교 시스템생명공학부 겸임교수
2017-2018 국가과학기술자문회의 전문위원
2018-현재 포항공과대학교 기계공학과/화학공학과 부교수 (무은재 석좌교수)
2018-현재 연세대학교 글로벌융합공학부 겸임교수
2019 젊은과학자상 (대통령상) 수상 (공학 제2군)
Lecture plan
강의
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CHAPTER 1: 나노공정1 (탑다운 공정)
- 학습자료 & 주차목표
- 나노가공 기술 (탑다운? 바텀업?)
- 포토리소그래피 I
- 포토리소그래피 II
- Quiz Week 1
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CHAPTER 2: 나노공정2 (탑다운 공정)
- 학습자료 & 주차목표
- 전자빔리소그래피
- 집속이온빔 밀링 기술
- 나노임프린트 기술
- Quiz Week 2
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CHAPTER 3: 나노공정3 (탑다운 공정)
- 학습자료 & 주차목표
- 박막 공정 (화학증착법)
- 박막 공정 (물리증착법)
- 에칭 공정
- Quiz Week 3
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CHAPTER 4: 나노공정4 (바텀업 공정)
- 학습자료 & 주차목표
- 바텀업 공정 (VLS 공정)
- 자기조립 공정 (나노입자)
- 자기조립 공정 (단분자막/DNA)
- Quiz Week 4
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CHAPTER 5: 나노구조
- 학습자료 & 주차목표
- 카본나노구조
- 카본나노튜브
- 그래핀
- Quiz Week 5
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CHAPTER 6: 나노과학의 응용 및 전망
- 학습자료 & 주차목표
- 나노전자공학
- 나노광학
- 나노광학과 메타물질
- Quiz Week 6
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시험
- Exam
Additional Info
교재: 강의노트 제공