박막 공정 중에서 CVD 과정 중 ALD 프로세스가 resolution 도 좋고 다른 방법들에 비해서 좋아보입니다.
그런데, 다른 PECVD등을 사용하는 이유가 있나요??
답변 부탁드립니다.
박막 공정 질문 드립니다!
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박막 공정 중에서 CVD 과정 중 ALD 프로세스가 resolution 도 좋고 다른 방법들에 비해서 좋아보입니다.
그런데, 다른 PECVD등을 사용하는 이유가 있나요??
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