안녕하세요, 수강 중에 궁금증이 있어 질문드립니다.
첫번째 사진에서 두번째 사진으로 넘어가는 과정에서 SU8(연두색)을 O2 plasma dry etch로 제거 한다고 말씀해주셨는데,
그렇다면 V자 아래의 SU8은 V모양의 Au가 mask역할을 해서 dry etch되지 않을 것 같아 질문드립니다.
혹시 V자 아래 부분 SU8은 어떻게 제거가 가능할까요?
흥미로운 강의 감사합니다.
meta물질 공정 과정 중 질문있습니다.
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